3 inç silikon gofretlerden oluşan güvenilir bir tedarikçi olarak, bu gofretlerin yarı iletken üretiminden optoelektroniklere kadar çeşitli yüksek teknoloji endüstrilerinde oynadığı kritik rolü anlıyorum. Bu blogda, modern uygulamalarda gereken yüksek kaliteli yüzeylere ulaşmak için gerekli olan 3 inç silikon gofretleri nasıl cilalayacağınız hakkında derinlik bilgisini paylaşacağım.
3 inç silikon gofretin temellerini anlamak
Parlatma işlemine girmeden önce, 3 inçlik silikon gofretlerin ne olduğunu bilmek önemlidir. A3inç silikon gofret (76.2mm)Yaklaşık 76.2mm çapında ince bir yarı iletken - dereceli silikon dilimini ifade eder. Bu gofretler birçok mikroelektronik cihazın temelidir. Boyutları onları araştırma ve geliştirme, prototipleme ve bazı özel üretim çalışmaları gibi çok çeşitli uygulamalar için uygun hale getirir.
Pre parlatma hazırlığı
Parlatma işlemi gerçek parlatma adımından çok önce başlar. İlk olarak, çiğ silikon gofretlerin gerekli kalite standartlarını karşılamasını sağlamalıyız. Bu, gofretlerin çatlaklar, çizikler veya inklüzyonlar gibi fiziksel kusurlar için denetlenmesini içerir. Yüksek kaliteli hammaddeler, yüksek kaliteli cilalı gofretler elde etmenin anahtarıdır.
Daha sonra, gofretler iyice temizlenir. Gofret yüzeyindeki kirleticiler parlatma sonuçlarını önemli ölçüde etkileyebilir. Yaygın bir temizlik yöntemi, iki ana adımdan oluşan RCA temizleme işlemidir: standart temiz 1 (SC1) ve standart temiz 2 (SC2). Organik kirleticileri ve partikülleri uzaklaştırmak için amonyum hidroksit, hidrojen peroksit ve su karışımı olan SC1 kullanılır. Metal kirletici maddeleri uzaklaştırmak için hidroklorik asit, hidrojen peroksit ve su karışımı olan SC2 kullanılır.
Parlatma süreci
3 inç silikon gofretlerin parlatılması tipik olarak iki ana aşamayı içerir: kaba parlatma ve ince parlatma.
Kaba parlatma
Kaba parlatma sürecin ilk adımıdır. Buradaki amaç, nispeten büyük miktarda malzemeyi hızlı bir şekilde kaldırmak ve yüzey pürüzlülüğünü belirli bir seviyeye indirmektir. Bu aşamada genellikle sert parlatma pedi ve kaba bir aşındırıcı bulamaç kullanılır.
Aşındırıcı bulamaç, silikon karbür veya elmas parçacıkları gibi aşındırıcı parçacıklar içerir. Bu parçacıklar, su veya özel bir kimyasal çözelti olabilen sıvı bir ortamda süspanse edilir. Gofret, aralarında akan aşındırıcı bulamaç ile dönen parlatma pedine bastırıldığında, aşındırıcı parçacıklar gofret yüzeyini çizer ve malzemeyi çıkarır.
Kaba parlatma sırasında uygulanan basınç nispeten yüksektir, bu da malzeme çıkarma oranının artmasına yardımcı olur. Bununla birlikte, çok fazla basınç uygulamamaya özen gösterilmelidir, çünkü bu yonga veya çatlama gibi gofrette mekanik hasara neden olabilir.
İnce parlatma
Kaba parlamadan sonra gofret ince parlatmaya maruz kalır. İnce parlatmanın amacı, yüzey kalitesini daha da artırmak, yüzey pürüzlülüğünü son derece düşük bir seviyeye düşürmek ve bir ayna gibi bir ayna elde etmektir.
İnce parlatmada yumuşak bir parlatma pedi ve ince bir aşındırıcı bulamaç kullanılır. İnce bulamaçtaki aşındırıcı parçacıklar, genellikle nanometre aralığında, kaba bulamaçdakilerden çok daha küçüktür. Kolloidal silika, ince parlatma için yaygın olarak kullanılan bir aşındırıcıdır.
İnce parlatma sırasında uygulanan basınç, kaba parlatmada olduğundan çok daha düşüktür. Bunun nedeni, amacın çok az miktarda malzemeyi nazikçe kaldırmak ve yeni yüzey kusurları tanıtmaktan kaçınmaktır. Parlatma aşamasında parlatma süresi, istenen yüzey kalitesine ulaşılmasını sağlamak için genellikle kaba parlatma aşamasından daha uzundur.
Post - Parlatma Tedavisi
Parlatma işlemi tamamlandıktan sonra, artık aşındırıcı parçacıkları ve parlatma kimyasallarını çıkarmak için gofretlerin daha fazla tedavi edilmesi gerekir. Bu bir dizi temizlik adımı ile yapılır.
Deiyonize su kullanan bir son temizleme aşaması, kalan kirleticileri durulamak için genellikle gerçekleştirilir. Temizlikten sonra, gofretler su noktalarını veya diğer kurutma ile ilgili kusurları önlemek için dikkatlice kurutulur. Yaygın bir kurutma yöntemi, gofretlerin suyu çıkarmak için yüksek hızda döndürüldüğü döndürme - kurutma.
Kalite kontrolü
Kalite kontrolü gofret - parlatma sürecinin ayrılmaz bir parçasıdır. Parlamadan sonra, gofretler yüzey kalitesi, düzlük ve kalınlık homojenliği açısından denetlenir.
Yüzey kalitesi optik mikroskopi veya atomik kuvvet mikroskopisi (AFM) kullanılarak incelenebilir. Bu teknikler çizikler, çukurlar veya pürüzlülük varyasyonları gibi yüzey kusurlarını tespit edebilir. Düzlük ve kalınlık tekdüzeliği, interferometreler veya kapasitans bazlı kalınlık göstergeleri gibi özel metroloji ekipmanı kullanılarak ölçülür.
Diğer gofret boyutlarıyla karşılaştırma
Yarı iletken endüstrisinde, farklı uygulamalar için farklı gofret boyutları kullanılır. Örneğin,12 inç silikon gofret (300mm)yüksek verimlilikleri nedeniyle ileri mikroişlemcilerin ve bellek yongalarının yüksek hacimli üretiminde yaygın olarak kullanılır. Diğer taraftan,6 inç silikon gofret (150mm)hala bazı özel uygulamalarda ve araştırma ve geliştirme için yaygın olarak kullanılmaktadır.
Daha büyük gofretlerle karşılaştırıldığında, 3 inç silikon gofretler, küçük ölçekli üretim, prototipleme ve daha küçük bir form faktörünün gerekli olduğu uygulamalar için daha uygundur. 3 inçlik gofretler için parlatma işlemi prensipte daha büyük gofretlerinkine benzer, ancak ekipman ve işlem parametrelerinin gofret boyutuna göre ayarlanması gerekebilir.
Çözüm
3 - inç silikon gofret parlatma, her adımda dikkatli kontrol gerektiren karmaşık ve hassas bir süreçtir. Pre -Preping Preparation'dan parlatma tedavisine kadar, her aşama, gofretlerin nihai kalitesinin belirlenmesinde önemli bir rol oynar.
3 inçlik silikon gofret tedarikçisi olarak, müşterilerimizin katı gereksinimlerini karşılayan yüksek kaliteli cilalı gofretler sağlamaya kararlıyız. İster yarı iletken araştırmalarına, prototipleme veya küçük ölçekli üretime dahil olun, cilalı 3 inç silikon gofretlerimiz projeleriniz için güvenilir bir seçim olabilir.
3 inçlik silikon gofretlerimizle ilgileniyorsanız veya parlatma süreci hakkında herhangi bir sorunuz varsa, daha fazla bilgi için bizimle iletişime geçmekten ve bir tedarik müzakeresine başlamaktan çekinmeyin. Özel ihtiyaçlarınızı karşılamak için sizinle birlikte çalışmayı dört gözle bekliyoruz.
Referanslar
- S. Wolf ve RN Tauber'ın "Yarıiletken Üretim Teknolojisi".
- Werner Kern tarafından "Silikon Gofret Temizleme Teknolojisi El Kitabı".
- Yarıiletken üretimi ve diğer ilgili bilimsel dergilerle ilgili IEEE işlemlerinden silikon gofret parlatma ile ilgili dergi makaleleri.